Применение интегральной теоремы
Рассмотрим задачу о дифракции на отверстии в бесконечном непрозрачном экране. Предполагается, что возмущение от точечного источника с координатой xs падает сверху на непрозрачный экран с отверстием, как показано на рис. 6.8, а. Необходимо рассчитать параметры поля в точке xi за отверстием.
Воспользуемся интегральной теоремой Гельмгольца — Кирхгофа, выбрав соответствующим образом поверхность интегрирования. Следуя Кирхгофу, возьмем замкнутую поверхность S таким образом, чтобы она состояла из двух частей (см. рис. 6.8, а). Пусть плоская поверхность S1, лежащая сразу за дифракционным экраном, замыкается большим сферическим колпаком S2 радиусом R с центром в рассматриваемой точке xi. Полная замкнутая поверхность S образована поверхностями S1 и S2, поэтому интеграл (6.21) имеет вид
(6.31)
где, как и прежде,
При увеличении R поверхность S2 принимает форму полусферической оболочки. Можно показать, что интеграл по S2 не будет давать вклада в общий интеграл.
- 6. Формирование оптического излучения
- 6.1. Формирование микрорельефа в резисте
- 6.2. Системы экспонирования
- 6.3. Основы теории формирования микроизображений
- Волновые процессы в оптике
- Представление волн в векторном и комплексном виде
- 6.4. Скалярная теория дифракции Уравнение Гельмгольца
- Теорема Грина
- Интегральная теорема Гельмгольца — Кирхгофа
- Применение интегральной теоремы
- Граничные условия Кирхгофа
- Формула дифракции Френеля — Кирхгофа
- Формула дифракции Рэлея — Зоммерфельда
- Приближение Кирхгофа
- Приближение Френеля
- Дифракция при контактной фотолитографии
- Расчет распределения интенсивности
- Контрольные вопросы и задания
- 7. Проекционное формирование микроизображений
- 7.1. Качество проекционного изображения
- 7.2. Понятие изображающей системы
- 7.3. Связь между объектом и изображением
- 7.4. Свертка
- 7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
- Ряды Фурье
- Ряд Фурье в комплексной форме
- Интеграл Фурье
- Фурье-преобразование
- Фурье-преобразование изображения
- 7.6. Оптическая передаточная функция
- 7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
- 7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
- 7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
- 7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
- 7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
- Контрольные вопросы и задания