7. Проекционное формирование микроизображений

Изучив материал этой главы, студент должен иметь представление об особенностях оценки качества проекционных микроизображений применительно к использованию в микролитографии.

Студент должен знать:

 основные положения фурье-преобразований в оптике;

 методы оценки качества формируемых микроизображений с использованием понятий оптической передаточной функции, зрачковой функции, автокорреляции этих функций.

Студент должен уметь:

 анализировать физические закономерности, определяющие процесс микролитографии при проекции микроизображений;

 математически описывать оптические процессы формирования проекционного микроизображения;

 рассчитывать профили распределения пространственной интенсивности излучения при проекционной микролитографии;

 оценивать применимость проекционных оптических систем для реализации процессов микролитографии с заданными параметрами.

Студент должен иметь навыки применения математических методов фурье-преобразований для технологического анализа процессов на примере микролитографии.