7.2. Понятие изображающей системы
Оптическая система должна преобразовывать и регистрировать максимальное количество информации, получаемой от объекта — фотошаблона. Необходимо также, чтобы основные параметры изображения — контраст отдельных элементов, их число на определенном участке и взаимное расположение — передавались в плоскость изображения с минимальными искажениями.
Чем меньше изображение отличается от объекта по распределению световой энергии, тем выше качество оптической системы. Двумерный объект можно характеризовать значениями освещенности Io в каждой точке некоторого участка плоскости, т. е. математически представить объект в виде функции Io(xo, yo) двух независимых переменных.
Представим соответствующее изображение как функцию освещенности Ii(xi, yi) на плоскости, а изображающую систему, в частности оптическую, в виде математического оператора, который показывает, как нужно подействовать на функцию объекта Io(xo, yo), чтобы получить функцию освещенности изображения Ii(xi, yi). Такое воздействие оптической системы можно описать по крайней мере двумя различными способами.
Первый способ основан на представлении изображения состоящим из множества точек. Освещенность каждой из них зависит от значений яркости сопряженной точки объекта и соседних с нею точек.
Второй способ базируется на теории Фурье и заключается в представлении функции любого объекта и его изображения в виде сумм составляющих специального вида, а именно синусоидальных гармонических составляющих с различными частотами, амплитудами и начальными фазами. В таком случае воздействие оптической системы можно описать с помощью так называемых передаточных функций.
При обоих способах предполагают, что оптическая система, создающая изображение объекта, должна удовлетворять определенным требованиям, т. е. быть линейной и изопланатичной.
Свойство линейности означает следующее: если объектам Io1 и Io2 соответствуют изображения Ii1 и Ii2, то объекту Io = aIo1 + bIo2 должно соответствовать изображение Ii = aIi1 + bIi2 при любых значениях множителей a и b. Следовательно, значение освещенности изображения, получаемое при суммарном воздействии нескольких значений яркости объекта, равно сумме значений освещенности, которые получаются от каждого из этих значений в отдельности.
Изопланатичность системы означает, что в ней форма функции рассеяния точки и линии сохраняется в пределах изучаемого участка изображения. Оптические системы обеспечивают выполнение этого условия не по всей площади изображения, а лишь в пределах ограниченных участков поля зрения, называемых изопланатическими зонами.
- 6. Формирование оптического излучения
- 6.1. Формирование микрорельефа в резисте
- 6.2. Системы экспонирования
- 6.3. Основы теории формирования микроизображений
- Волновые процессы в оптике
- Представление волн в векторном и комплексном виде
- 6.4. Скалярная теория дифракции Уравнение Гельмгольца
- Теорема Грина
- Интегральная теорема Гельмгольца — Кирхгофа
- Применение интегральной теоремы
- Граничные условия Кирхгофа
- Формула дифракции Френеля — Кирхгофа
- Формула дифракции Рэлея — Зоммерфельда
- Приближение Кирхгофа
- Приближение Френеля
- Дифракция при контактной фотолитографии
- Расчет распределения интенсивности
- Контрольные вопросы и задания
- 7. Проекционное формирование микроизображений
- 7.1. Качество проекционного изображения
- 7.2. Понятие изображающей системы
- 7.3. Связь между объектом и изображением
- 7.4. Свертка
- 7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
- Ряды Фурье
- Ряд Фурье в комплексной форме
- Интеграл Фурье
- Фурье-преобразование
- Фурье-преобразование изображения
- 7.6. Оптическая передаточная функция
- 7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
- 7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
- 7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
- 7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
- 7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
- Контрольные вопросы и задания