6. Формирование оптического излучения
Изучив материал этой главы, студент должен иметь представление о свойствах и параметрах оптического излучения применительно к использованию его в микролитографии.
Студент должен знать:
законы, понятия и определения скалярной теории дифракции, являющиеся основой формирования микроизображений при микролитографии;
методы преобразования фундаментальных законов оптики в прикладные технологические зависимости.
Студент должен уметь:
анализировать физические закономерности, определяющие процесс микролитографии в ближнем поле;
математически описывать оптические процессы формирования микроизображения;
рассчитывать профили распределения пространственной интенсивности излучения при контактной микролитографии и литографии с микрозазором;
оценивать применимость оптических систем для реализации процессов микролитографии с заданными параметрами.
- 6. Формирование оптического излучения
- 6.1. Формирование микрорельефа в резисте
- 6.2. Системы экспонирования
- 6.3. Основы теории формирования микроизображений
- Волновые процессы в оптике
- Представление волн в векторном и комплексном виде
- 6.4. Скалярная теория дифракции Уравнение Гельмгольца
- Теорема Грина
- Интегральная теорема Гельмгольца — Кирхгофа
- Применение интегральной теоремы
- Граничные условия Кирхгофа
- Формула дифракции Френеля — Кирхгофа
- Формула дифракции Рэлея — Зоммерфельда
- Приближение Кирхгофа
- Приближение Френеля
- Дифракция при контактной фотолитографии
- Расчет распределения интенсивности
- Контрольные вопросы и задания
- 7. Проекционное формирование микроизображений
- 7.1. Качество проекционного изображения
- 7.2. Понятие изображающей системы
- 7.3. Связь между объектом и изображением
- 7.4. Свертка
- 7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
- Ряды Фурье
- Ряд Фурье в комплексной форме
- Интеграл Фурье
- Фурье-преобразование
- Фурье-преобразование изображения
- 7.6. Оптическая передаточная функция
- 7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
- 7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
- 7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
- 7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
- 7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
- Контрольные вопросы и задания