Ряды Фурье
Периодическую функцию f(x) аргумента x, имеющую период P, т. е. пространственную частоту = 1/P, можно представить в виде суммы синусоид или косинусоид, имеющих частоты , 2, 3, ... , n и периоды P , P/2, P/3, ..., P/n:
где P измеряется в миллиметрах, а — в единицах на миллиметр.
Коэффициенты такого ряда определяются по формулам
(7.13)
Легко убедиться, что для четной функции все bn = 0; для нечетной функции все an = 0.
Тестовые решетки с одинаковыми прозрачными и непрозрачными полосами (см. рис. 7.1, а), имеющие прямоугольное (П-образное) пропускание, могут быть описаны рядами Фурье:
(7.14)
(7.15)
Уравнение (7.14) соответствует расположению начала координат в центре окна (рис. 7.5, а), а уравнение (7.15) — случаю, когда начало координат совпадает с границей окна (рис. 7.5, б).
На рис. 7.5, в в пределах одного периода показаны частные суммы двух и трех членов ряда Фурье. Увеличение числа членов ряда Фурье делает суммарную функцию все более похожей на исходное прямоугольное распределение.
- 6. Формирование оптического излучения
- 6.1. Формирование микрорельефа в резисте
- 6.2. Системы экспонирования
- 6.3. Основы теории формирования микроизображений
- Волновые процессы в оптике
- Представление волн в векторном и комплексном виде
- 6.4. Скалярная теория дифракции Уравнение Гельмгольца
- Теорема Грина
- Интегральная теорема Гельмгольца — Кирхгофа
- Применение интегральной теоремы
- Граничные условия Кирхгофа
- Формула дифракции Френеля — Кирхгофа
- Формула дифракции Рэлея — Зоммерфельда
- Приближение Кирхгофа
- Приближение Френеля
- Дифракция при контактной фотолитографии
- Расчет распределения интенсивности
- Контрольные вопросы и задания
- 7. Проекционное формирование микроизображений
- 7.1. Качество проекционного изображения
- 7.2. Понятие изображающей системы
- 7.3. Связь между объектом и изображением
- 7.4. Свертка
- 7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
- Ряды Фурье
- Ряд Фурье в комплексной форме
- Интеграл Фурье
- Фурье-преобразование
- Фурье-преобразование изображения
- 7.6. Оптическая передаточная функция
- 7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
- 7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
- 7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
- 7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
- 7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
- Контрольные вопросы и задания