Фурье-преобразование
Формулы (7.27) и (7.28) выражают так называемое фурье-преобразование функции f(x). Отметим, что комплексная экспонента в формулах имеет разные знаки.
Для одномерного объекта с распределением интенсивности f(x) прямое фурье-преобразование позволяет найти частотную или спектральную характеристику. Это значит, что интенсивность объекта представляется в виде бесконечно большого набора гармонических составляющих всех пространственных частот , а модуль выражает ту долю, которая приходится на каждое выбранное значение частоты, т. е. выражает спектральную плотность.
Обратное фурье-преобразование позволяет восстановить распределение интенсивности по спектральной характеристике объекта.
Фурье-преобразования позволяют упростить расчеты распределения интенсивности в изображении, если известны распределение интенсивности в объекте и функция рассеяния системы.
Воспользуемся известной теоремой, которая формулируется так: фурье-преобразование некоторой функции, являющейся сверткой других функций, равно произведению фурье-преобра- зований функций, подвергаемых свертке.
Докажем эту теорему применительно к рассмотренному ранее примеру свертки, а именно к выражению интенсивности Ii(x) в точке изображения. Для формулы (7.11) напишем фурье-преобразование обеих частей равенства:
(7.29)
Обозначим Ii() фурье-преобразование фунукции Ii(x), а в правой части равенства (7.29) выберем следующий порядок интегрирования:
(7.30)
Во внутреннем интеграле правой части (7.30) введем новую переменную x = x – . Тогда
и равенство (7.30) приобретет вид
(7.31)
т. е. действительно Іi() равно произведению фурье-преобра- зований функций, связанных операцией свертки (в данном случае функции распределения интенсивности в объекте и функции рассеяния).
- 6. Формирование оптического излучения
- 6.1. Формирование микрорельефа в резисте
- 6.2. Системы экспонирования
- 6.3. Основы теории формирования микроизображений
- Волновые процессы в оптике
- Представление волн в векторном и комплексном виде
- 6.4. Скалярная теория дифракции Уравнение Гельмгольца
- Теорема Грина
- Интегральная теорема Гельмгольца — Кирхгофа
- Применение интегральной теоремы
- Граничные условия Кирхгофа
- Формула дифракции Френеля — Кирхгофа
- Формула дифракции Рэлея — Зоммерфельда
- Приближение Кирхгофа
- Приближение Френеля
- Дифракция при контактной фотолитографии
- Расчет распределения интенсивности
- Контрольные вопросы и задания
- 7. Проекционное формирование микроизображений
- 7.1. Качество проекционного изображения
- 7.2. Понятие изображающей системы
- 7.3. Связь между объектом и изображением
- 7.4. Свертка
- 7.5. Фурье-преобразования в оптике Понятие пространственной частоты
- Ряды Фурье
- Ряд Фурье в комплексной форме
- Интеграл Фурье
- Фурье-преобразование
- Фурье-преобразование изображения
- 7.6. Оптическая передаточная функция
- 7.7. Зрачковая функция и ее связь с оптической передаточной функцией
- 7.8. Связь комплексной амплитуды изображения со зрачковой функцией
- 7.9. Оптическая передаточная функция как автокорреляция зрачковой функции
- 7.10. Системы дифракционного качества с постоянным пропусканием по площади зрачка
- 7.11. Учет распределения интенсивности в изображении
- Контрольные вопросы и задания